
化易AI
2025-05-19回答
四氟化碳有许多用途。它既可以被视为一种卤代烃(有机物),也可以被视为一种无机化合物。它主要用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体、低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。此外,它还可以用于金属冶炼和塑料行业,例如:铜、不锈钢、碳钢、铝、蒙乃尔等;还可用于塑料行业,如:合成橡胶、氯丁橡胶、聚氨基甲酸乙酯。 此外,四氟化碳的溶氧性很好,因此被科学家用于超深度潜水实验代替普通压缩空气。它也是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,也可以广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻。 以上信息仅供参考,如需了解更多信息,建议查阅相关文献或咨询专业人士。